1 中国科学院光电技术研究所, 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 中国科学院空间光电精密测量技术重点实验室, 成都 610209
高速、高灵敏度相机在自适应光学系统中可以对波前误差进行实时测量, 为大型地基望远镜提供接近衍射极限的目标图像。多抽头电子倍增电荷耦合器件(EMCCD)相机是自适应光学波前探测的最佳选择之一, 基于8抽头的CCD220设计了2000f/s级高速、高精度、多路同步时序发生器, 并通过时序控制的方法在CCD器件上实现了多种像元合并, 进一步将相机帧频提高到3500f/s(2×2合并)和5700f/s(4×4合并), 并能对相机感兴趣区域进行控制。时序发生器的步进精度可达到2.5ns, 输出的各路驱动信号的相位抖动可达200ps以下。
电子倍增 电荷耦合器件 高精度时序控制 像元合并 自适应光学 electron multiplication CCD high-precision timing control pixel merger adaptive optics