1 西安工业大学 理学院, 陕西 西安 710021
2 西安工业大学北方信息工程学院, 陕西 西安 710025
3 西北工业大学 自动化学院, 陕西 西安 710072
为分析光学平面面形偏差, 以直径100 mm光学平晶为检测对象, 利用斐索干涉仪采集了被测光学平面的波面干涉图, 按照美国材料与试验协会(American Society for Testing and Materials, ASTM)标准方法, 通过分析, 能够定性反映出被测光学平面的面形偏差。计算并分析了波面偏差指标峰谷值PV和均方根值RMS, 将计算结果与利用ZYGO斐索干涉仪测得的数据对比, 偏差为10-3λ, 符合光学检测要求。综合考虑可操作性和计算精度, 这种基于ASTM的方法是一种行之有效的光学检测分析方法。
斐索干涉仪 干涉图 平面面形检测 ASTM方法 Fizeau interferometer interference fringes plane surface measurement American Society for Testing and Materials (ASTM)
