在InP阵列波导光栅的制作过程中会引入不同的误差, 从而影响器件的性能.为了最大限度地控制误差, 提高半导体器件性能, 本文采用传输函数法对InP基阵列波导光栅的系统误差和随机误差分别进行了分析.从系统误差的模拟结果中可以得到如下结论: 深脊型波导的有效折射率nc平均每偏移+0.000 1, 中心波长偏移+0.05nm.相邻阵列波导长度差ΔL每偏移+0.01 μm, 中心波长将偏移+0.44 nm.nc和ΔL仅仅会影响到传输谱中心通道及其他各通道对应的波长, 使得传输谱发生整体漂移, 而信道间隔及串扰不会改变.罗兰圆半径R偏移不会影响器件的中心通道对应的波长, 但会使其它通道对应的波长发生变化, 最终使得信道间隔改变, R增加50 μm, 信道间隔减小0.03 nm.从随机误差模拟结果中, 得出: 波导芯区折射率、上包层折射率、衬底折射率、波导宽度和波导芯层厚度的随机波动会对阵列波导光栅的串扰产生较大的影响.根据以上分析, 可以通过控制不同参量来调节器件的中心波长以及信道间隔等来优化阵列波导光栅的光学性能.

提出一种在四步相移数字全息中消除随机相移误差及CCD噪声的方法。通过多次重复四步相移数字全息的实验过程,使得每一步的相移都有多幅全息图像与之对应,把每一步对应的多幅全息图像进行数学平均就会得到4幅全息均值图像。理论分析表明,使用这4幅全息均值图像进行数字全息的重建,可以得到精确的物光波的分布,有效地消除随机相移误差及CCD噪声的影响。计算机模拟结果表明：该方法有助于提高数字全息重建光场质量。

从耦合模方程出发, 用一种矩阵方法分析了折射率调制深度误差对切趾啁啾布拉格光纤光栅传输特性的影响。结果表明: 折射率调制深度误差的分布频率越高, 光栅传输特性受到的危害越小; 误差平均幅值越高, 光栅传输特性的劣化程度越大。因此, 在光栅的制作过程中, 应注意避免和减小高幅值误差, 并注意减少低空间频率分布的误差。

本文提出了一种新的监控软X光多层膜膜厚的方法——转速控厚法,利用这种方法镀制的设计周期厚度分别为8.4和10nm,周期数达50对和30对的W/C多层膜,经小角X光衍射测试,结果表明周期厚度随机误差在0.1nm左右。