1 上海市激光技术研究所，上海 200233
2 上海激光直接物标溯源工程技术研究中心，上海 200233
利用紫外纳秒标识系统对硅晶圆表面进行二维码直接标识试验研究。采用控制变量法，分别研究不同的脉冲占空比、重复频率、光斑重叠率对标识材料的热损伤、表面形貌以及二维码识读效果的影响规律。研究结果表明，脉冲占空比和重复频率对标识区域的环宽和热损伤影响效果明显，二维码的读取率和识读时间同时受占空比、重复频率、光斑重叠率影响。单脉冲能量在10.7~20 μJ范围内可以标识出符合SEMI标准的均匀、细腻、稳定、高识读率的无尘标识。
激光标识 硅晶圆 热损伤 识读率 laser marking silicon wafer thermal effects read rate
1 上海市激光技术研究所, 上海 200233
2 上海激光直接物标溯源工程技术研究中心, 上海 200233
3 上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233
4 上海团结普瑞玛激光设备有限公司, 上海 201111
5 上海通友同创光电科技有限公司, 上海 200233
激光系统的打标速度、频率、填充间隔、功率等工艺参数直接影响二维码标刻效果。实验基于VIS打标系统, 针对汽车行业铸铁材质发动机的二维码激光直接标刻, 利用二维码读码器对激光标记进行读码率的测量, 通过改变激光加工参数, 研究激光工艺参数对二维码标刻效果的影响。实验表明, 通过对频率、填充间隔和速度三个激光参数进行相互协调, 得出10%左右的光斑重叠率和较小的线间距, 能够得到对比度高的标记, 从而获得高的读码率。
VIS打标机 二维码 激光标记 读码率 工艺参数 VIS marking machine dimensional code laser marking read rate process parameters
