1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033
2 中国科学院 研究生院，北京 100049
分析和优化了凹面光栅衍射效率自动测试仪的测量精度，以提高凹面光栅相对衍射效率测量结果的准确性。根据凹面光栅相对衍射效率测量原理，对凹面光栅出射光谱增宽、衍射光束截面变化、光源辐射亮度的控制和测量波长同步精度等影响测量准确性的因素进行分析，给出了必要的运算关系式。采用回归分析等数学方法，基于大量实验数据建立了测量结果的优化公式，并将该公式编入测量程序，实现了在测量结束的同时自动优化测量结果。实验表明，经过优化后的测量值更加准确，与相对衍射效率理论值的偏差均在±2.5%以内，有效提高了仪器的测量精度。该方法操作简单，无需添加或改动仪器的任何部件，可满足仪器实时性强、测量准确的要求。
凹面光栅 衍射效率 精度分析 结果优化 concave grating diffraction efficiency precision analysis result optimization
