作者单位
摘要
1 长春理工大学 光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
3 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
介绍了一个特殊结构的干涉测试方法和系统, 基于Fizeau(菲索)干涉原理, 通过一高精度直角圆锥镜来实现圆柱坐标系与直角坐标的转换。该系统可以用来测量360°回转圆柱的表面形貌, 并且无需图像拼接, 可一次性获取整周的面形数据。通过对系统主成分误差的计算分析, 及Matlab软件数值仿真, 建立了圆柱坐标系下的误差校正矩阵。并针对一环形样品进行实际测量, 测试结果经过主成分误差校正后, 与Taylor Hobson接触式圆柱度仪的测量结果一致, 通过最小二乘圆(LSC)的圆度评定方法计算得到的圆度误差值十分接近。实验结果表明: 该测量方法可有效地实现圆柱体整周表面形貌的测量, 解决了目前回转光学元件的测量难度大、测试效率低等问题。
Fizeau干涉仪 回转圆柱面 角锥反射镜 误差校正 Fizeau interferometry rotatory cylinder surface axicon mirror errors calibration 
红外与激光工程
2017, 46(7): 0717001

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!