用具有扁平放电截面的等离子体管设计一种新颖的CO2激光器，并用纵向辉光放电和横向无声放电同时激励。阐述了这种激光器的设计原理，理论上讨论了激光管内电子浓度的横向分布，实验研究了它的工作特性，并与仅用辉光放电激励的情况进行比较。实验表明，由于横向无声放电的作用使这种激光器的激光功率、工作气压和工作气体中氮的比例有明显的提高，激光效率也有所提高，而且放电电流能兼顾最大激光输出功率和最佳效率。
CO2激光器 无声放电 气体激光器
1 中央大学光电科学研究所,台湾
2 工业技术研究院工业材料研究所
研制成功了共振逆变器激励无声放电快速轴流二氧化碳激光器，其电极是以电弧涂层法制作，覆盖于石英放电管的外壁。电极几何形状采用了平行和螺旋等方式，实验证明螺旋电极比平行电极的放电更为均匀，输出也较高。此激光器以CO2:N2:He=1:17:2的混合气比及5 kPa的氧压操作，输出225 W功率时能量转换效率８%。
二氧化碳激光器 无声共振放电 涂层电极
