作者单位
摘要
1 西安交通大学 机械工程学院,陕西西安70049
2 西南科技大学 制造学院,制造过程测试技术教育部重点实验室,四川绵阳61010
为了克服环境湿度变化对微移液管探针结构读写稳定性的不利影响,本文首先设计了一种混合室和工作室的双气室结构,在工作室的内置隔板上均匀分布小孔形成均匀的微气流,确保工作室内湿度均匀并减小对工作点气流扰动的影响。然后,通过数值模拟验证了设置混合室和工作室双气室结构的合理性,且以小于0.06 m·s-1流速对工作室进行双侧充气时,对工作点的气流扰动小于50 μm·s-1。制作实物并实验表明,该系统能够在5分钟内将工作室的湿度控制在给定值(环境温度25 ℃),且相对湿度的稳态误差为2.59%;通过控制环境湿度,对比不同湿度条件下微移液管探针电沉积(写)结构质量和扫描(读)成像质量,发现该环境湿度控制方法能够满足微移液探针微纳读写的工作要求。该方法对提高基于移液管探针微结构制造和检测的稳定性和可靠性具有重要的现实意义。
微移液管探针制造与检测 微环境湿度控制 数值仿真优化 micro-pipette manufacturing and detection micro-environment humidity control numerical simulation optimization 
光学 精密工程
2021, 29(10): 2432
作者单位
摘要
1 浙江工业大学理学院, 浙江 杭州 310023
2 杭州博源光电科技有限公司, 浙江 杭州 310023
光学系统是光谱仪的核心部件,决定了整个仪器的基本性能与体积。因此分析了几种光学系统的利弊,最终确定采用交叉非对称切尔尼-特纳系统,并用Zemax软件对光路进行了优化设计,确定整体分辨率为1.8 nm,测量范围为200~900 nm。利用Matlab软件求解最小二乘法三阶多项式的拟合系数,采用HG-1汞-氩校准光源对波长进行三阶曲线拟合校正,使其相对波长误差控制在0.05 nm 以内。与USB4000光纤光谱仪进行了数据对比分析,表明该设计思路及方法切实可行。
光学设计 光路 模拟优化 波长标定 
中国激光
2015, 42(5): 0516003

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!