光学 精密工程
2021, 29(10): 2432
1 浙江工业大学理学院, 浙江 杭州 310023
2 杭州博源光电科技有限公司, 浙江 杭州 310023
光学系统是光谱仪的核心部件,决定了整个仪器的基本性能与体积。因此分析了几种光学系统的利弊,最终确定采用交叉非对称切尔尼-特纳系统,并用Zemax软件对光路进行了优化设计,确定整体分辨率为1.8 nm,测量范围为200~900 nm。利用Matlab软件求解最小二乘法三阶多项式的拟合系数,采用HG-1汞-氩校准光源对波长进行三阶曲线拟合校正,使其相对波长误差控制在0.05 nm 以内。与USB4000光纤光谱仪进行了数据对比分析,表明该设计思路及方法切实可行。
光学设计 光路 模拟优化 波长标定