为了研究磁流变抛光液中磨粒团聚对光学玻璃元件的磨损性能，利用环境可控的直线往复式摩擦磨损试验机，以不锈钢球为对磨副，以熔石英为基底，系统地研究了磁流变抛光液中纳米金刚石磨粒团聚程度对熔石英摩擦磨损性能的影响，并利用光学显微镜、白光干涉仪等设备分析熔石英的磨损机制，最后将摩擦学实验结果与实际磁流变抛光结果进行对比。实验结果表明：纳米金刚石磨粒团聚程度越大，熔石英表面的材料去除率越大，磨损区域亚表面损伤情况越严重。当载荷为0.5 N时，熔石英在团聚磨粒作用下的磨损主要以黏着磨损为主，伴随着轻微的磨粒磨损，同时熔石英的亚表面无明显损伤；当载荷从0.5 N增加到4 N时，熔石英的磨损形式以磨粒磨损为主，熔石英的表面和亚表面出现大量损伤。采用相同磨粒团聚程度的抛光液进行熔石英磨损与磁流变抛光实验发现，熔石英在磁流变抛光过程中的材料去除率与磨损实验的材料去除率变化趋势保持一致，表明借助摩擦磨损实验在一定程度上可以预测实际磁流变抛光中的材料去除率。

为了克服环境湿度变化对微移液管探针结构读写稳定性的不利影响，本文首先设计了一种混合室和工作室的双气室结构，在工作室的内置隔板上均匀分布小孔形成均匀的微气流，确保工作室内湿度均匀并减小对工作点气流扰动的影响。然后，通过数值模拟验证了设置混合室和工作室双气室结构的合理性，且以小于0.06 m·s^-1流速对工作室进行双侧充气时，对工作点的气流扰动小于50 μm·s^-1。制作实物并实验表明，该系统能够在5分钟内将工作室的湿度控制在给定值（环境温度25 ℃），且相对湿度的稳态误差为2.59%；通过控制环境湿度，对比不同湿度条件下微移液管探针电沉积（写）结构质量和扫描（读）成像质量，发现该环境湿度控制方法能够满足微移液探针微纳读写的工作要求。该方法对提高基于移液管探针微结构制造和检测的稳定性和可靠性具有重要的现实意义。

传统的格雷码加相移法已经广泛应用于三维测量，但是相位解包裹一般需要投影多幅格雷码条纹，如何实现快速、准确的三维测量仍具有一定挑战性。提出了一种基于几何约束的改进格雷码条纹投影三维测量方法，可以有效减少格雷码条纹的数量。为了实现高速条纹投影，使用二值抖动技术将8位正弦相移条纹转换为1位二值图像。总共使用六幅条纹图像，其中三幅相移条纹用于计算截断相位，三幅格雷码条纹用于对截断相位进行初步展开获得伪展开相位，最后利用几何约束对伪展开相位进行解包裹获得绝对相位。实验结果表明，所提方法可以有效地重建被测物体的三维形貌。