1 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 中科院纳米器件与应用重点实验室 纳米器件与材料研究部，江苏 苏州 215125
2 南京理工大学 材料科学与工程学院，江苏 南京 210094)
3 南京理工大学 材料科学与工程学院，江苏 南京 210094
在半导体微纳工艺基础上研究了基于镜像非对称结构超材料太赫兹(THz)滤波器的性能。通过时域有限差分理论，模拟分析了滤波器工作频率下太赫兹电场强度和电流密度在微结构的分布，并阐述了微结构太赫兹波电磁共振的机理。基于太赫兹滤波器电磁损耗机制和微纳加工工艺条件，设计并优化器件开口环结构，使相邻开口环中产生电磁场的干涉相消，减少太赫兹辐射损耗，提高品质因子Q 值。采用太赫兹时域光谱(THz-TDS)系统测试了滤波器的太赫兹透射特性，实验结果表明，在工作频率0.923 THz 下，镜像非对称结构的平面太赫兹滤波器品质因子达到12.5。同时，研究了太赫兹电场方向对滤波器性能的影响。高Q 太赫兹滤波器的研制为制备高速太赫兹电调制器等太赫兹器件提供了重要的实验依据。
太赫兹滤波器 镜像非对称结构 双层胶剥离法 terahertz filters mirrored asymmetric structure double-layered photoresist for lift-off 太赫兹科学与电子信息学报
2015, 13(5): 696
1 上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海200093
2 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海200093
使用太赫兹时域光谱系统(THz-TDS)对基于超常光学透射现象的铝质亚波长圆孔阵列和牛眼结构进行了实验研究。实验中,使用包含0.1～2.7 THz的入射脉冲,观察到了明显的滤波效应,且滤波峰的中心频率恰好为两种结构所设计的0.53 THz。太赫兹波的高频部分,尤其是高于1 THz的部分发生了急剧地衰减。随着大样品中圆孔数量的增加,由于更加明显的周期性,滤波峰的中心漂移到0.26 THz。使用表面等离子体激元(SPPs)的相关理论以及运用有限元算法(FEM)对实验中观察到的超常光学透射现象和滤波效应进行模拟和分析，模拟的结果与实验数据吻合得非常好。
太赫兹滤波器 超常光学透射 有限元算法 表面等离子体激元 terahertz filters extraordinary optical transmission FEM SPPs
