西安工业大学光电微系统研究所, 陕西 西安 710032
组建了高吸收型滤光片的透过率均匀性测试系统，硬件系统由光学系统、光电转换系统和信号采集控制系统3部分组成。设计了基于LabVIEW 8.0的软件系统，测试软件采用模块化方法编制。计算机控制二维电控转台移动待测滤光片，以标准衰减片的透过率为基准，系统全自动实时扫描测量样片多点透过率均匀性分布，并对样片中心点透过率作了详细误差分析。透过率动态测试范围0.001%～1%，测量相对误差小于0.1%。
高吸收型滤光片 透过率均匀性 虚拟仪器 high-absorption filters transmissivity uniformity virtual instruments
