作者单位
摘要
武汉高德红外股份有限公司,湖北 武汉 430205
报道一种制备高性能氧化钒热敏薄膜的方法和其应用。采用反应磁控溅射薄膜沉积技术,通过改变氧化钒热敏薄膜沉积时溅射功率,从而调整钒原子在溅射出来之后接触到基片表面时的沉积速率,同时通过对设备进行改造升级,即在钒溅射腔腔外增加一个控制电源来精确控制溅射电压及氧气分压等参数来精确控制反应过程中电流密度,优化了氧化钒薄膜的制备工艺,制备出方块电阻为500 kΩ/□,电阻温度系数(TCR)为?2.7% K?1的氧化钒薄膜。实验测试结果表明,利用高性能氧化钒热敏薄膜制作的非制冷红外焦平面探测器,其噪声等效温差(NETD)降低30%,噪声降低28%,显著提升了非制冷焦平面探测器的综合性能。
氧化钒薄膜 反应磁控溅射 TCR 非制冷红外焦平面探测器 vanadium oxide film reactive magnetron sputtering TCR uncooled infrared focal plane detector 
红外与激光工程
2021, 50(2): 20200349
作者单位
摘要
1 烟台艾睿光电科技有限公司,山东 烟台 264006
2 华北光电技术研究所,北京 100015
介绍了非制冷红外焦平面探测器的基本工作原理,并概括了其关键技术参数。梳理了非制冷红外焦平面探测器技术与产品的发展简史,综述了国内外相关研究及产品开发的最新进展。最后还讨论了非制冷红外焦平面探测器技术的发展趋势。
非制冷红外焦平面探测器 微测辐射热计 氧化钒薄膜 uncooled infrared focal plane detector microbolometer vanadium oxide thin film 
红外
2020, 41(10): 01
作者单位
摘要
电子科技大学 光电科学与工程学院, 成都 610054
基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法, 采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真, 具体工作包括: 单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模, 结合实际MEMS结构的材料参数, 进行了电学与热电耦合多物理场有限元仿真模拟分析。通过仿真优化获得探测单元的主要热电参数、响应时间和响应率, 分别为: 热导4.31×10-8W/K、热容2.69×10-10J/K、电压响应率(未经后端读出电路放大)7200V/W、热响应时间6.24ms。采用所提出的微桥设计仿真方法, 可显著提高器件设计效率和设计精度, 缩短研发周期, 可满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求。
微测辐射热计 小像元 非致冷红外焦平面探测器 有限元仿真 热电耦合分析 microbolometer small pixel uncooled infrared focal plane detector finite element simulation thermal-couple 
半导体光电
2020, 41(1): 15

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