红外与激光工程
2021, 50(2): 20200349
1 烟台艾睿光电科技有限公司,山东 烟台 264006
2 华北光电技术研究所,北京 100015
介绍了非制冷红外焦平面探测器的基本工作原理,并概括了其关键技术参数。梳理了非制冷红外焦平面探测器技术与产品的发展简史,综述了国内外相关研究及产品开发的最新进展。最后还讨论了非制冷红外焦平面探测器技术的发展趋势。
非制冷红外焦平面探测器 微测辐射热计 氧化钒薄膜 uncooled infrared focal plane detector microbolometer vanadium oxide thin film
电子科技大学 光电科学与工程学院, 成都 610054
基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法, 采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真, 具体工作包括: 单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模, 结合实际MEMS结构的材料参数, 进行了电学与热电耦合多物理场有限元仿真模拟分析。通过仿真优化获得探测单元的主要热电参数、响应时间和响应率, 分别为: 热导4.31×10-8W/K、热容2.69×10-10J/K、电压响应率(未经后端读出电路放大)7200V/W、热响应时间6.24ms。采用所提出的微桥设计仿真方法, 可显著提高器件设计效率和设计精度, 缩短研发周期, 可满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求。
微测辐射热计 小像元 非致冷红外焦平面探测器 有限元仿真 热电耦合分析 microbolometer small pixel uncooled infrared focal plane detector finite element simulation thermal-couple