1 湖北工业大学 机械工程学院, 湖北 武汉 430068
2 湖北省现代制造质量工程重点实验室, 湖北 武汉 430068
表面形貌测量在光学元件加工制造和表面功能特性评定等方面有着非比寻常的意义。设计一种三波长轮换的表面形貌测量系统, 与传统的白光相移干涉扫描等方法相比较, 能够有效扩大测量深度以及形貌精度。多波长测量中波长带来的误差会极大的影响测量的精度, 需要准确的校准波长。围绕三波长轮换表面形貌干涉测量系统, 提出了利用平面镜干涉图校准三个滤光片波长的方法。通过对粗糙度样本的测量实验及计算结果显示: 用校准后的波长计算标准方波样板得到的表面粗糙度数据与未使用为校准波长测得的结果相比其精度提高了1.3%, 与标准数据相比较其相对误差仅为4.1%。
光学测量 表面形貌 多波长 相位差 波长校准 optical measurement surface topography measurement multi wavelength phase difference wavelength calibratio
