1 承德石油高等专科学校，河北 承德 067000
2 河北省仪器仪表工程技术研究中心，河北 承德 067000
3 东北大学 信息科学与工程学院，辽宁 沈阳 110819
提出一种集温度、压力和流量多参数同时测量的新型光纤传感器，并对其原理和结构、工艺设计展开研究工作。采用靶式与悬臂梁结构相结合的机敏结构、薄壁压力应变筒结构等集成在同一传感器探头上，并利用四只光纤光栅使得温度、压力和流量三个参数得以同时检测。利用光纤光栅两两之间波长移动量“相差”或“相和”，使温度与流量、压力交叉敏感问题得以解决。同时开发了光纤传感器标校系统，这一系统可以较准确实现对所研发的多参量一体化传感器的测试结果进行检测和标校。
一体化光纤传感器 交叉敏感 标校系统 integrated optical fiber sensor cross sensitivity calibration system 红外与激光工程
2019, 48(10): 1013006
