西安工业大学光电工程学院， 陕西 西安 710032
在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上，提出一种基于二维FFT的薄膜厚度测量新方法。利用搭建的泰曼-格林型干涉系统，用CCD接收、采集卡采集，可获得被测膜层的干涉条纹图像。编制算法处理软件，可实现对干涉条纹图中薄膜边缘识别、区域延拓、滤波、波面统一等的处理，从而获得带有薄膜信息的面形分布，实现对薄膜样片厚度的自动化测量。研究结果表明：所测薄膜厚度的峰谷值为0.256λ，均方根值为0.068λ，说明采用基于FFT的薄膜厚度干涉测量新方法测量薄膜厚度具有较高的精度。
干涉图 薄膜厚度 二维FFT 滤波窗 interferogram film thickness 2-D FFT filter window
1 西安工业学院,陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西,西安,710032
2 南京理工大学电光学院,江苏,南京,210094
现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数.用二维FFT方法处理干涉图时,由于FFT算法只能处理数字化的离散数据,且要求数据分布区域必须是矩形区域,因此必须设法将圆形区域干涉图扩展延拓成矩形区域.在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上,提出了一种干涉图空域迭代延拓的原理和方法,利用该方法对一幅实际干涉图进行空域延拓,取得了满意的延拓效果.结果表明,该方法具有较高的处理精度,为波面相位复原奠定了基础.
二维FFT 区域延拓 干涉图 算法 2-D FFT Region spreading Interferogram Algorithm
