1 合肥工业大学 电子科学与应用物理学院, 合肥 230009
2 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 合肥 230009
3 合肥工业大学 特种显示技术国家工程实验室 现代显示技术省部共建国家重点实验室 光电技术研究院, 合肥 230009
分析了二阶量化产生的误差, 提出了一种基于模拟退火算法的优化算法, 对二阶量化的相位数据进行优化, 改善其输出光场, 减小二阶量化带来的误差。仿真结果表明：优化过后DOE输出光场的不均匀性由41.92%降至23.18%, 误差函数由28.74%降至20.47%, 可见提出的算法在减小DOE二阶量化误差方面具有一定的应用价值。
衍射光学元件 模拟退火算法 二阶量化 diffractive optical element simulated annealing algorithm second-order quantization
