针对光度测量数据中难以消除的系统误差对薄膜光学参数表征精度的负面影响，提出一种新型的误差处理技术。选取薄膜光谱系数对折射率和几何厚度的一阶偏导数，对大部分测量入射角满足符号相反或只有其中一个为零的条件的波段，剔除偏导数对全部测量入射角满足符号相同或同时为零条件的奇点波长附近波段，作为反演表征用的光度测量数据采集区域，以最小化光度测量系统误差引起的薄膜光学参数反演表征值相对真实值的偏差大小。通过数值模拟实验，对比研究了该技术对不同偏振光和不同测量入射角范围的适用性及实施技巧，以可复现的数值实验数据和合理的理论解释支持和验证了这种误差处理技术的可靠性。

基于对椭偏测量数据中难以消除的系统误差的作用机理分析，提出了一种新型的薄膜光学参数表征误差处理技术。建议选取薄膜椭偏角关于折射率和几何厚度的一阶偏导数，对大部分测量入射角满足符号相反或只有其中一个为零的条件的波段，剔除偏导数对全部测量入射角满足符号相同或同时为零的条件的奇点波长附近波段，作为反演表征用的椭偏测量数据采集区域，以最小化椭偏测量系统误差引起的薄膜光学参数反演表征值相对真实值的偏差大小。其本质是通过一阶偏导数筛选测量数据，来最小化椭偏测量系统误差对薄膜光学参数表征的误差传递作用。通过数值模拟实验，对比研究了该技术对不同测量入射角范围的适用性及实施技巧，以可复现的数值实验数据和合理的理论解释支持和验证了这种误差处理技术的可靠性，为薄膜在线表征和镀膜监控提供了一定的参考价值。

基于对光谱测量数据中系统误差和随机误差的不同特性分析, 提出了两种方法来分别减小其对薄膜光学参数反演测量精度的影响。方法一是利用薄膜光谱系数关于薄膜光学参数的一阶偏导数信息筛选数据点, 选取偏导数符号相反的波段或入射角区域作为最佳测量数据点采集区域, 以最小化系统误差引起的薄膜光学参数相对真实值的偏差大小。方法二是在实测光谱数据中注入独立同分布的随机噪声, 利用基于偏差函数最小化方法的混合优化算法多次进行反演计算, 将每次反演得到的薄膜光学参数估计值的统计均值作为薄膜真实光学参数的估计值, 以减小甚至消除随机误差引起的薄膜光学参数不确定度。这两种方法不仅在提高薄膜光学参数测量精度上具有明显的实用价值, 而且物理意义明确, 可操作性强, 不局限于特定波段和特定材料的薄膜光学参数测量, 具有良好的普适性, 可望在薄膜光学参数的准确测量技术中发挥重要作用。