清华大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084
介绍了一个基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统。系统包括两个干涉仪：采用半导体激光器作为光源的定位干涉仪和测量位移的外差干涉仪。介绍了光源的选择，系统的设计以及信号的采集和处理方案。采用这套绝对测量系统，可以实现长度为2m以内的绝对距离测量，定位精度可以达到±0．5μm。
光学倍乘 零光程差 绝对距离测量 相干性 optical multiplication zero optical path difference absolute distance measurement coherence
