为缩短衰减倍率调整的时间，提高激光参数测试的效率，提出激光光强快速衰减算法。衰减倍率精确调整量由当前衰减倍率和采集到的光斑光强真实的最大灰度值共同决定。当因光电接收器件(CCD)饱和造成采集光斑图像失真时，即衰减倍率过小时，由于激光光斑的光强通常满足高斯分布，通过对光斑图像进行处理，去除饱和部分光强信息，对剩余部分光强信息利用最小二乘法进行三维高斯拟合，还原出激光光斑光强的真实分布并获得最大灰度值; 当衰减倍率过大时，根据采集光斑图像可以直接获得当前最大灰度值，最后通过计算获得最佳的衰减倍率调整值，实现了激光光强快速准确的调整。算法的有效性通过步进电机带动的双轮可变衰减器及CCD配合得到验证。

通过建立非理想准直光束残余高斯特征的功率密度模型,阐述了光束准直效果与功率密度的关系,借助光束通光比例系数对直写光斑强度分布影响的分析,以光斑主瓣、旁瓣的强度和宽度为主要特征,讨论了直写光斑强度及强度分布与光束准直效果的变化规律,确定了合理选取激光直写系统中准直扩束比例系数的原则。通过仿真不仅系统阐述了理想准直光束与非理想准直光束所形成的直写光斑形状的差异,还描述了理想准直光束近似计算光斑强度分布时的误差形式,这一结论为激光直写机准直系统设计提供了理论依据。