在偏振成像和激光功率测量技术领域,凡涉及偏振光的定量测量,都会由于光束的偏振态对探测器的影响而产生显著的误差。这种现象主要是由于许多类型的光探测器存在偏振敏感响应引起的。本文对光电探测器的偏振响应进行了分析,推导了光电探测器偏振相关损耗的斯托克斯模型。分析了SiNx 钝化膜对InGaAs 探测器偏振响应的影响。结果表明,无SiNx 钝化膜时,随着入射角度的增加,偏振响应损耗明显增加,而随着波长的增加,偏振响应损耗明显降低;采用SiNx 钝化膜时,随着波长的增加,偏振响应损耗先减小后增加。由于设计的SiNx 薄膜的增透中心波长为1550nm ,1310nm 波长处的偏振响应损耗大于1550nm 处的偏振响应损耗。