中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室, 上海 200050
新型热像仪是一种基于微机械技术的光调制热成像系统, 它采用光调制原理来实现像转换和像增强, 其核心是一个采用与互补型金属氧化物半导体工艺相容的微机械技术制作的光调制热成像器件。 该系统具有一系列潜在的优点: 灵敏度和分辨率高、 体积和能耗小、 响应时间短并可在室温下工作。 叙述了器件的设计和建模, 通过一种简化的悬臂梁理论计算了其灵敏度、 最小可探测能量及响应时间等参数, 并对双材料梁的设计进行了优化。 采用ANSYS 5.4程序对设计的器件进行了有限元模拟, 得到的灵敏度和响应时间分别为0.03 m/W和6 ms。
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