1 中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研发中心,上海 201800
2 中国科学院研究生院,北京 100039
利用德鲁德理论和洛伦兹洛伦茨理论,从介电常数分析入手,探讨了混合介质膜的折射率表达式,给出利用双源共蒸法镀制的渐变折射率薄膜在混合介质膜的总沉积速率恒定、两种膜料的单分子大小近似相等和沉积速率均为线性变化时的折射率表达式;从正变和负变、单周期和多周期、不同的周期数和不同的单周期厚度几个方面对渐变折射率薄膜的光学特性进行了模拟分析和讨论;对渐变折射率薄膜的实现、应用以及实验制备中有待进一步解决和处理的问题进行了讨论。
薄膜 渐变折射率 共蒸法 德鲁德理论 洛伦兹洛伦茨理论
1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 中国科学院研究生院,北京,100039
对双源线性共蒸法制备的非均匀薄膜折射率分布与光学特性的关系作了探讨,并与均匀介质膜的光学特性作了对比;从折射率正变和负变两个方面,讨论了混合介质膜折射率不同变化规律对光学性能带来的影响;讨论了厚度误差和折射率极值误差对非均匀膜光学性能的影响.结果发现:折射率变化规律误差主要对非均匀膜的应用波段范围产生影响,而膜层厚度误差和折射率极值误差超过一定值时,将对薄膜光学特性产生重要影响.
光学薄膜 非均匀 渐变折射率 共蒸法 Optical film Inhomogeneous Graded index Co-evaporation
