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相同关键词【分离机制】论文列表

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激光加工与应用

激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟

刘孝丽 ^*熊玉卿杨建平王瑞 [ ... ]任妮

作者单位

摘要

兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室, 甘肃兰州 730000

为了研究1064 nm 激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理，采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程，分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程，获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布，进一步验证了在脉冲激光作用下由于基底材料易分解而产生的薄膜/基底界面分离机制。