1 北京交通大学 理学院 发光与光信息技术教育部重点实验室, 北京 100044
2 光信息科学与技术研究所, 北京 100044
针对半导体光波导实际制作过程中出现的典型工艺缺陷, 基于有限元法提出了有效的分析方法。首次计算了真实光场入射情况下, 缺陷存在时波导内部的光场, 并分析了缺陷位置、大小、缺陷类型和入射光波长对半导体光波导损耗和模式耦合的影响。分析结果表明, 波导传输损耗随缺陷大小和光波长振荡变化; 折射率较大的缺陷, 振荡频率较高; 缺陷从芯区中心移向边缘时, 传输损耗随波导结构尺寸振荡变化, 变为单调增大。损耗能量一部分形成辐射模进入衬底, 另一部分耦合成高阶模。缺陷明显增加半导体光波导损耗, 改变波导传输模式, 显著劣化集成光路性能。
半导体光波导 工艺缺陷 有限元法 传输模式分析 semiconductor optical waveguide process defect finite element method propagation mode analyzing
对环形光纤激光器中的半导体光波导调制器进行了理论研究，结果表明，光纤环中的偏振控制器对光的偏振态的控制以及半导体光波导对光的偏振态的调节构成了激光器的主要调制机理，为环形光纤激光器的自调Ｑ及锁模的新机制提供了理论依据。
半导体光波导 偏振态的控制与调节 光调制
