周博文 1,2王楠 2,3祝万钱 2,3薛松 2,3,*田应仲 1,*
作者单位
摘要
1 上海大学 机电工程与自动化学院,上海 201900
2 中国科学院 上海应用物理研究所,上海 201204
3 中国科学院 上海高等研究院,上海 201204
针对新设计的等截面反射镜椭圆压弯机构在固定物距(即反射镜在光路中位置不变)的情况下,研究了实现大范围像距调整(即样品位置发生改变)时镜面面形误差等问题。通过理论分析并借助有限元分析软件计算等截面平面镜压弯至不同(反射点处像距不同)椭圆柱面时的理论斜率误差,最后对椭圆压弯机构样机进行了实际压弯测试。实验结果与计算分析均表明:保持物距、掠入射角不变,压弯镜面与理想椭圆柱面之间的斜率误差会随着像距的减小而增大,并且像距越小,镜面斜率误差的增加速度越大。实验测得在反射镜面初始斜率误差为0.397 μrad的情况下,全部像距范围(21.5~3.8 m)内压弯镜面的实际斜率误差在0.402~0.560 μrad之间,重复精度为0.051 μrad,均满足上海光源光束线的设计要求。本文研究证明了使用等截面反射镜压弯机构进行椭圆柱面压弯可以实现聚焦镜工作像距在大范围内的连续调节。
同步辐射 压弯机构 椭圆柱面镜 面形误差 synchrotron radiation bending mechanism elliptical cylindrical mirror slope error 
中国光学
2020, 13(4): 778
杨佼汪 1,2,*刘旭 1曹刚 1,2蔡泉 1盛伟繁 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院 高能物理研究所, 北京 100049
2 中国科学院大学, 北京 100049
Laue晶体单色器常用于单色化高能X射线(>50 keV),通过对其晶片压弯可以实现高能光束聚焦。晶片压弯过程中会不可避免地产生扭曲,从而影响单色器的工作效率。利用波动光学仿真的方法,分析弯晶面形扭曲对Laue晶体单色器性能的影响,并提出一种角位移微调轴角装置,用来消除这种扭曲。该装置基于直梁型柔性铰链,利用叠加原理和对称结构。利用有限元方法分析了该装置的力学性能。分析结果表明,轴角装置的转角范围为±2°时,其转动中心最大偏移为20 μm,实现了角位移分辨率好于1″,动态范围达到104,达到设计目标。
Laue晶体单色器 光学仿真 轴角装置 柔性铰链 压弯机构 Laue crystal monochromator optical simulation rotary mechanism flexure hinge bending mechanism 
强激光与粒子束
2019, 31(9): 091003
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春 130033
2 中国科学院研究生院,北京 100039
为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素;最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法。研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上。利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14 μrad减小到0.15 μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21 μrad减小到0.86 μrad。由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度。
同步辐射 压弯机构 水平偏转 面形误差 补偿 synchrotron radiation bending mechanism horizontal deflection slope error compensation 
光学 精密工程
2011, 19(11): 2644
作者单位
摘要
中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029
介绍了利用柔性铰链机构对弧矢聚焦双晶单色器中第二晶体进行动态压弯的工作原理,优化了压弯机构和晶体的几何参数,然后应用有限元方法模拟分析压弯装置与晶体的力学性质,最后分析了弯晶的形位误差并计算因此造成的弯晶光束入射角的变化.分析结果表明:替换后单色器的水平接收角由1 mrad增加到3 mrad,样品上光斑的水平半高宽由12.5 mm减小到2.5 mm.优化后晶体因压弯产生的鞍形曲率半径约为弧矢曲率半径的1 700倍,造成的入射角误差为2.2 μrad;压弯装置上的最大平均应力约为800 MPa,并由此确定了以铍青铜作为压弯机构的材料,晶体的曲率半径为0.57~1.72 m和驱动力为8~2.67 N时的线性关系.分析结果表明:该单色器的设计完全达到了设计指标,在提高光子通量和光子密度的同时又能满足XAFS光束线测量过程中需要频繁快速扫描的要求.
弧矢聚焦 双晶单色器 柔性铰链 压弯机构 形位误差 
光学 精密工程
2007, 15(3): 362
作者单位
摘要
1 上海师范大学,机械与电子信息工程学院,上海,201418
2 上海交通大学,机械与动力工程学院,上海,200030
研究了带有柔性铰链组合体的冷却压弯机构,以用于减少晶体的热变形.给出了晶体热变形的种类及其机理,以及冷却压弯机构的受力分析及机构结构.运用有限元方法对这种机构进行了分析.结果表明:此种机构大大降低了第一晶体的热变形,在承受5 N/mm2峰值功率密度条件下,面型误差仅为0.04 μrad3 μrad,远远小于同步辐射光束线设计要求.结果还表明:此种机构尤其适用于高热载情况,是解决第三代同步辐射光源关键技术.
同步辐射 柔性铰链 压弯机构 双晶单色器 
光学 精密工程
2004, 12(6): 608

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