1 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
2 中国人民解放军,装甲兵技术学院,吉林,长春,130117
3 大连理工大学,辽宁,大连,116024
研究了压电元件的非线性及其复合控制问题.依据压电元件全程及局部伸长和缩短的实验数据,提出了一种根据外环曲线参数及当前坐标值确定比例系数,进而确定内环伸长曲线的数学模型.实验表明,这种全面反映内、外环曲线的非线性数学模型对上升和下降过程的最大拟合误差在全程范围内分别为1.2%和2.0%.利用此模型,可在压电元件非线性外环曲线及目前电压-伸长量已知的情况下,求出其下一时刻上升或下降的路径.以此模型为基础,构造了一种压电元件前馈复合控制算法,在输入峰-峰值为4μm位移的情况下,得到了280 Hz的闭环带宽.同普通PID控制算法相比,带宽提高了30%以上.
压电元件 执行器 非线性模型 复合控制 光学 精密工程
2007, 15(10): 1547