1 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
2 重庆大学机械工程学院, 重庆 400044
基于有限元方法，以三点夹持为例，对压电薄膜变形镜(PFDM)的工作特性进行了仿真分析，发现变形镜与镜框之间因夹持带来的接触应力会导致镜面变形与电压之间呈现非线性变化。针对这一问题，提出了两种改进方式，仿真结果表明，两种改进方式均能够有效改善变形镜的非线性响应问题。
自适应光学 压电薄膜变形镜 夹持方式 有限元方法 激光与光电子学进展
2012, 49(1): 012203
1 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院 研究生部, 四川 绵阳 621900
3 清华大学 工程物理系, 北京 100084
针对方口径压电薄膜变形镜, 采用傅里叶级数法推导了其机电行为的数学解析式。并利用该表达式对该类变形镜的交联值、使用口径等性能指标进行了研究。结果表明：交联值随电极尺寸呈线性变化关系, 在可用范围内保持在0.6以上, 压电薄膜变形镜大的交联值保证了其对低阶像差强的校正能力；变形镜的校正能力与通光口径密切相关, 其最佳使用口径比约为0.8。
自适应光学 压电薄膜变形镜 响应函数 交联值 使用口径 adaptive optics piezoelectric film deformable mirror response function correlation coefficient beam aperture
中国工程物理研究院激光聚变研究中心， 四川 绵阳 621900
针对惯性约束聚变(ICF)驱动装置，提出一种新的焦斑整形方法：基于衍射叠加原理，采用自适应光学(AO)技术调整近场相位来实现对远场焦斑形态的控制。以一种新型的变形镜模型——压电薄膜变形镜(PFDM)为例，对AO技术用于焦斑整形的可行性进行了模拟研究。结果表明，在制作工艺允许的范围内，当变形镜的空间分辨率达到一定程度时，便可利用AO技术实现良好的焦斑整形效果，而且能够保证焦斑较好的均匀性。进一步研究结果表明，该方法对波前畸变的容忍度要优于传统方法。
激光器 自适应光学 焦斑整形 压电薄膜变形镜 动态连续相位板
