条纹计数法解调精度受限，而常用的高精度外差调频解调法(如相位生成载波法、线性调频法)，在光源调频过程中伴生有幅度调制并且调制解调系统复杂。提出了一种基于双光纤光路相位解调的法布里珀罗(F-P)位移传感器，原理上省去了光源调频过程，在提高检测精度的同时，成本与条纹计数法相当。与已有报道的双光路结构不同的是，该传感器对两干涉光路之间相位差无严格要求，安装调节简单，降低了传感器的工艺难度。位移测量实验结果表明，该传感器在0～500 μm的测量范围内，线性度为1.1%，误差限值为±3 μm。
传感器 光纤位移传感器 双光纤法布里珀罗干涉仪 直接相位解调 条纹计数法
