1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033
2 中国科学院 光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 130033
从实际应用出发，在0°入射的条件下，在ZnS基底上针对0.8~1.7 μm和3.7~4.8 μm两个红外波段，设计并制备了双波段红外增透膜。论述了材料选择、膜系设计和制备方法，最终使用等离子辅助沉积技术在ZnS窗口上制备出双波段红外增透膜，透过率及环境测试结果表明：在0.8~1.7 μm波段双面平均透过率大于95%,在3.7~4.8 μm波段双面平均透过率大于96%。膜层结合牢固并有良好的耐摩擦性能。
红外增透膜 硫化锌 等离子辅助 双波段增透膜 IR antireflection coating ZnS Plasma Ion Assisted Deposition(PIAD) dual-band antireflection coating
长春理工大学 光电信息学校,吉林 长春 130022
根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上镀制增透膜,要求薄膜在可见与近红外波段400-1000 nm及远红外波段7-11 μm的平均透射率均大于90%。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF3作为高低折射率材料,利用最新OptiLayer软件三大模块的功能辅助,调整镀膜工艺参数,改进监控方法,减少膜厚控制误差,在多光谱ZnS基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段400-1000 nm的平均透射率大于91%,远红外波段7-11 μm的平均透射率大于90%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求。
光学薄膜 双波段增透膜 真空镀膜 离子辅助沉积
