成都天奥电子股份有限公司 技术研发中心, 成都 610037
对半导体激光器外腔自反馈注入锁定进行了理论分析,研究了片上微腔的自反馈注入锁定对于分布反馈(DFB)激光器输出线宽的影响,分析了决定锁定带宽及线宽压缩系数的关键参数。基于Q值为2.4×106的片上Si3N4微腔的后向瑞利散射实现了DFB激光器的自反馈注入锁定,将其输出线宽由自由运转时的556.71kHz压窄到了92.28kHz,锁定带宽达到425MHz。研究结果有助于理解半导体激光器自反馈注入锁定机理,并为实现窄线宽激光器提供了新的结构更简单、集成化潜力更高的方案。
窄线宽激光器 自反馈注入锁定 片上微腔 线宽压缩 narrow-linewidth laser self-feedback injection locking on-chip microcavity line width compression
1 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
2 柏林工业大学光学所,德国 柏林 10623
实验研究了带外腔反馈注入的宽接触条形激光器,并用光线传输矩阵分析了该外腔结构。利用闪耀光栅及耦合输出反射镜对表面未镀增透膜的半导体激光器构成外腔,选择一定模式的激光反馈注入回激光器,从而限制了其他模式在半导体激光器内的振荡,压缩了激光器输出激光的光谱宽度。当激光器驱动电流为2.7倍阈值电流时,获得230 mW输出功率,0.6 nm谱宽,单瓣近衍射极限的激光输出。用一平面镜代替光栅作为外腔反射镜,获得了320 mW输出功率,1.5 nm谱宽的单瓣近衍射极限的激光输出。
激光技术 宽接触条形激光器 外腔 反馈注入