GaAs光电阴极在进行Cs-O激活前．激活层表面必须达到原子级洁净。最常用且最有效的洁净方法是高温热清洗法。然而．在热清洗过程中对处在真空系统中的光电阴极表面温度进行精确测量却是非常困难的。本文采用四极质谱仪对GaAs光电阴极激活前的热清洗过程进行分析．确定了最佳的热清洗温度及热清洗工艺，较好地解决了GaAs光电阴极激活前的热清洗工艺问题。
四极质谱仪 光电阴极 热清洗 温度 quadrupole mass spectroscope photocathode thermal cleaning temperature
1 电子科技大学光电子技术系, 成都 610054
2 西南交通大学物理系, 成都 610031
使用四极质谱仪对小型TEA CO2激光器作了寿命过程的质谱分析。直接测出了寿命过程中输出能量与各种气体成分变化的对应关系。
四极质谱仪 TEA CO2激光器
