1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
激光合束是实现高功率半导体激光输出的主要途径，常规激光合束提高功率时合束激光的光束质量变差。外腔反馈光谱合束技术利用半导体激光振荡与外部光学系统相结合的方式合束，在提高激光功率的同时，合束激光的光束质量即为激光单元的光束质量。研制出一种基于透射光栅的3个970 nm半导体激光线阵的外腔反馈光谱合束光源，实现连续激光功率为140.6 W、光束质量为4.367 mm·mrad的激光输出，谱宽为36.60 nm，56个波长峰值与激光单元一一对应，为获得高光束质量的高功率半导体激光光源提供了可行的方案。
激光器 半导体激光 激光合束 外腔反馈光谱合束 透射光栅 光束质量 光学学报
2013, 33(11): 1114001
