作者单位
摘要
中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
叙述了多辊轧机轧制金属薄膜原理,以Ti膜制备为例,借助多辊轧机冷轧技术进行1.5 μm厚钛薄带的制备工艺研究.对薄膜的特性测试结果表明:工作辊的表面粗糙度对于轧制薄膜的表面粗糙度的影响很大,降低工作辊表面的粗糙度可以得到粗糙度为25.2 nm的金属薄膜.
多辊轧机 冷轧 表面粗糙度 惯性约束聚变(ICF) 
强激光与粒子束
2006, 18(1): 81

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