1 山东师范大学物理系,济南 250014
2 山东大学物理系,济南 250100
3 香港城市大学电子工程系,
报道了液氮温度He+离子不同的注入能量和剂量条件下KTIOPO4晶体波导的制备, 利用m线光谱法测量了退火后波导各导模的有效折射率, 计算了波导层折射率的分布和晶体中离子的射程分布与损伤分布, 二者吻合得较好。
He+注入 KTiOPO4波导 折射率分布 射程分布
1 山东师范大学物理系, 济南 250014
2 山东大学物理系, 济南 250100
3 香港城市理工学院电子工程系
报道了液氮温度下He+离子注入iNbO3波导的制备,采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率,计算了波导层折射率的分布和晶体中He+离子的射程分布和损伤分布,两者吻合得较好。
He+注入 LiNbO3波导 折射率分布 射程分布