黄丽香 1†韩冰 1†闫龙 1赵项杰 1[ ... ]潘安练 1,**
作者单位
摘要
1 湖南大学材料科学与工程学院,湖南光电集成创新研究院,湖南 长沙 410082
2 诺视科技(苏州)有限公司,江苏 苏州 215011
基于发光二极管的显示技术在电视、电脑、手机等终端产品上获得了广泛应用。与传统液晶显示器和有机发光二极管屏幕相比,微型发光二极管(Micro-LED)显示器件在尺寸、性能、功耗、使用寿命等方面均具有显著优势。总结了Micro-LED全彩色显示的技术类别和产品应用场景,综述了实现Micro-LED全彩色显示的最新研究进展,包括巨量转移技术、色转换层集成技术和外延芯片单片集成技术,并进一步比较分析这些技术的优缺点,展望了Micro-LED全彩色显示技术的未来发展。
发光二极管 显示技术 单片集成 巨量转移 氮化镓 
激光与光电子学进展
2024, 61(1): 0125001
作者单位
摘要
1 南方科技大学 电子与电气工程系,广东 深圳 518055
2 巴哈瓦尔布尔伊斯兰大学 物理研究所,巴哈瓦尔布尔 63100,巴基斯坦
Micro-LED的发展被认为是世界上发展最快的显示技术之一,它在可见光通信应用、大型平板显示、虚拟现实及可穿戴显示、电视和照明、光遗传学和神经界面的光源等各个领域中应用广泛。尽管发展前景光明,但Micro-LED仍面临一些技术问题需要解决,以实现大规模商业化。主要技术问题包括提高长波长LED效率、提高低电流密度下的效率、全色彩方案、巨量转移、缺陷与良率管控、修复技术和成本控制。本文重点阐述了Micro-LED面临的不同挑战及其最佳解决方案。
Micro-LED 显示技术 LED效率 巨量转移 Ⅲ族氮化物 Micro-LEDs display technologies efficiency of LEDs mass transfer Ⅲ-nitride 
液晶与显示
2023, 38(7): 892
杜佳怡 1聂君扬 4孙捷 1,3林畅 2[ ... ]严群 2
作者单位
摘要
1 福州大学,平板显示技术国家地方联合工程实验室,中国福建光电信息科学与技术创新实验室,福州35000
2 中国福建光电信息科学与技术创新实验室,福州350100
3 瑞典查尔摩斯理工大学, 量子器件物理实验室, 哥德堡41296
4 西安交通大学, 电信学部, 西安71009
采用硅基金属整片键合后选择性去衬底技术,通过热压键合技术将(100)晶面硅与(111)晶面硅高温键合,利用聚二甲基硅氧烷保护(100)晶面硅衬底,再粗化(111)晶面硅衬底加快其刻蚀速率,后通过湿法选择性刻蚀去除(111)晶面硅衬底。此技术在不损伤硅基驱动芯片的前提下实现了选择性去除硅基氮化镓外延衬底,是一种材料混合集成的新技术,有望应用于自对准硅基Micro⁃LED微显示器件制程和光电子器件集成领域。
硅基微米级发光二极管 巨量转移 硅基互补金属氧化物半导体 热压键合 选择性刻蚀 silicon-based micro-LED mass transfer silicon-based CMOS hot press bonding selective etching 
光电子技术
2023, 43(1): 1
王伟 1赵甜甜 1刘强 1,2,*韩邦成 3[ ... ]桑建 4
作者单位
摘要
1 北京石油化工学院 精密电磁装备与先进测量技术研究所,北京0267
2 天津工业大学 电子与信息工程学院,天津300387
3 北京航空航天大学 惯性技术重点实验室,北京100191
4 广州市鸿利光电股份有限公司,广东广州510890
对巨量转移(Mass Transfer, MT)方案和运动定位平台(Motion Positioning Platform, MPP)的研究现状及其未来发展进行了详细阐述。根据芯片转移方式,将MT方案分为精准拾取-释放技术、自组装技术、滚轴转印技术、激光剥离技术,结合芯片转移效率和良率,论述了国内外MT方案的发展过程。在此基础上,从平台支撑方式,详细介绍了机械构型、气浮构型、磁浮构型和混合构型的MPP结构及工作原理,考虑运动行程、运动定位精度等因素,比较了MPP性能的优劣。展望了MT方案和MPP技术的未来发展方向,指出基于微孔液气双态介质的激光剥离MT和具备周向小角度修正以及轴向微高度调节能力的“机械+磁浮”混合构型MPP是Mini/Micro LED芯片转移技术的研究重点。
Mini/Micro LED 巨量转移 运动定位平台 显示技术 转移良率 Mini/Micro LED Mass Transfer(MT) Motion Positioning Platform(MPP) display technique transfer yield 
光学 精密工程
2023, 31(2): 183
季洪雷 1,2,3,*张萍萍 4陈乃军 3王代青 3[ ... ]葛子义 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院 宁波材料技术与工程研究所, 浙江 宁波 315201
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 TCL电子有限公司研发中心, 广东 深圳 518000
4 北京理工大学 材料学院, 北京 100081
5 宁波激智科技股份有限公司, 浙江 宁波 315000
Micro-LED技术被认为是消费电子领域下一个世代的显示技术。尽管市场上已经有很多公司推出了基于Micro-LED显示技术的样机以及应用示范, 然而Micro-LED显示技术远没有达到成熟的程度。本文从Micro-LED显示技术的历史、定义及技术挑战进行了综述, 重点总结了Micro-LED在工程领域的技术挑战, 最后对Micro-LED技术的未来发展方向进行了探讨。Micro-LED在芯片、巨量转移、全彩化等方面仍存在技术挑战, 但其所展现出的高分辨、快响应、低能耗、长寿命等突出特点, 能满足超小和超大显示的需求, 如虚拟/增强显示和电子广告牌, 展现出巨大的应用潜力, 已经在学术界和工业界引起了广泛研究。
巨量转移 显示技术 全彩化 Micro-LED Micro-LED mass transfer display technology full color technology 
液晶与显示
2021, 36(8): 1101
严子雯 1,2,*严群 1,2李典伦 1,2张永爱 1,2[ ... ]孙捷 1,2
作者单位
摘要
1 福州大学 物理与信息工程学院, 福建 福州 350108
2 中国福建光电信息科学与技术创新实验室, 福建 福州 350117
微型发光二极管(μLED)是当今国际最前沿的显示技术之一, 它一般指单个尺寸小于50 μm的LED阵列。μLED相对于液晶显示(LCD)、有机发光二极管(OLED)显示等技术有其独特的优势: 寿命长、响应时间短、亮度高。最重要的是, 它可以实现高度集成显示, 既包括像素密度远远高于常规显示技术的高PPI显示器件, 也包括我们首次提出的集成了某些非显示元件的超大规模集成半导体信息显示器件(HISID)。在许多显示技术的指标上, μLED的性能都很优异。但是, 由于μLED将常规LED器件的尺寸大大缩小, 且往往密度提高, 因此产生了许多新的技术和物理上的挑战, 例如巨量转移技术、全彩化显示等, 所以μLED尚未实现真正意义上的产业化。本文对高度集成μLED显示技术的研究和发展情况进行了较系统的论述, 首先对μLED的基本原理和结构进行了介绍, 然后对其重点核心技术进行了分类研究和点评, 最后对μLED显示技术的发展方向及其应用前景做出了分析。
微型发光二极管(μLED) 驱动 巨量转移 全彩化 高度集成 micro light-emitting diode(μLED) driver mass transfer technology colorization high integration density 
发光学报
2020, 41(10): 1309

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