作者单位
摘要
1 浙江科技学院 机械与汽车工程学院, 浙江 杭州 310023
2 吉林大学 汽车仿真与控制国家重点实验室, 吉林 长春 130025
3 中国科学院 上海光学精密机械研究所, 上海 201800
基于雅敏干涉装置,提出一种新的可变载频(条纹频率可调)的径向剪切干涉仪。该干涉仪主体由两块雅敏干涉平板、两对可旋转双光楔、两个可变比例的扩束镜组成;双光楔用于调节条纹周期,以获取最佳干涉图;两扩束镜的扩束比例可变,以调节最佳剪切量。两块平板加工误差一致,同时所有光楔来源于同一楔板,参数一致,两扩束镜的性能参数也完全相同,光路对称,严格等光程。提出的干涉仪可一次性完成非球面模具的测量;并根据被测面形情况进行条纹周期和剪切量的调节,获得了最佳条纹图。最后,对球面/非球面模具表面进行了测试。结果显示:通过调节双光楔和扩束比,此干涉仪可获得较好的条纹图,为多种非球面模具的进一步高效检测提供了新的思路。
雅敏干涉仪 径向剪切干涉仪 条纹图 非球面模具 Jamin interferometer radial shearing interferometer fringe pattern aspheric lens mould 
光学 精密工程
2014, 22(5): 1176
作者单位
摘要
1 西南技术物理研究所, 四川 成都 610041
2 南京理工大学电光学院, 江苏 南京 210094
3 四川大学电子信息学院, 四川 成都 610064
为了测量超长焦距高功率激光系统的波前畸变,研制并校准了基于空间相位调制的径向剪切干涉仪。仪器采用多波长设计,满足可见光和红外探测的需要。为研制并校准径向干涉仪,同哈特曼夏克(HS)传感器、Zygo干涉仪进行了对比实验。通过实验与理论对比,得到径向剪切干涉仪参数的最佳值。研究了汉宁窗的取值范围和边缘截取值的合理范围,结果表明,校准后的径向剪切干涉仪能够准确测量,仪器的重复性和精度都能满足高精度波前探测要求。
光学测量 径向剪切干涉仪 实验研究 校准 
激光与光电子学进展
2012, 49(4): 041204
何煦 1,2,*马军 1
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院 研究生院,北京 100039
针对常规像移式干涉仪无法用于大口径、长光路光学系统波像差检测的工程问题,设计了共光路径向剪切干涉仪以消除采用标准波面所引入的系统误差。设计中采用由三角棱镜与斜方棱镜组合而成的胶合棱镜组作为波面剪切器件,将待测波面与其复制波面产生干涉,并通过一组有不同相对孔径的透镜切换装置来控制干涉仪剪切比。与4D动态干涉仪在不同条件下的比对试验数据表明,设计的剪切干涉仪的测试重复精度约为λ/80,实际测试精度RMS优于λ/20(λ=630 nm)。这种设计极大地缩小了仪器外形尺寸与重量,提高了超长光路干涉检测的效率。
光学测量 径向剪切干涉仪 波像差 optical testing radial shearing interferometer wavefront aberration 
光学 精密工程
2011, 19(9): 2029

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