1 哈尔滨工业大学物理学院, 黑龙江 哈尔滨 150001
2 哈尔滨工业大学(威海)理学院, 山东 威海 264209
光纤功能器件具有体积小、灵敏度高、抗电磁干扰、抗腐蚀、易于集成复用等独特优势,在微机械结构、生物医疗、海洋探测、航空航天等领域有着巨大的应用前景。飞秒激光具有超窄的脉冲宽度,在与材料相互作用时能够有效地避免热效应,具有较高的加工精度,因此被广泛应用于光纤功能器件制备。目前,利用飞秒激光直写技术、飞秒激光双光子聚合技术和飞秒激光水击穿技术等已制备出稳定可靠的三维高分辨率微纳光纤功能器件。主要介绍了光纤光栅、光纤干涉仪、光波导等光纤功能器件的飞秒激光加工技术发展状况,展望了飞秒激光加工技术的应用前景。
激光光学 飞秒激光 微纳加工 光纤传感 微流芯片 激光与光电子学进展
2020, 57(11): 111402
