强激光与粒子束
2020, 32(4): 043002
1 中国民航飞行学院 航空工程学院, 四川 广汉 618300
2 电子科技大学 物理电子学院, 微波电真空器件国家级重点实验室, 成都 610054
针对新型螺旋线慢波结构——双矩形螺旋线慢波结构, 即在金属屏蔽框内平行加载两个具有矩形横截面形状的自由螺旋线慢波结构, 利用三维电磁仿真软件对其高频特性(色散特性和耦合阻抗)进行模拟研究。结果表明: 在相同位置处, 与单矩形螺旋线慢波结构相比, 双矩形螺旋线慢波结构色散特性变化很小, 却有着更高的耦合阻抗; 同时, 在包含这些位置的空间部分, 可采用带状电子注与该慢波结构进行注波互作用, 使输出功率进一步得到提高。
双矩形螺旋线慢波结构 微细加工技术 带状电子注 色散特性 耦合阻抗 double rectangular helix slow-wave structure micro-electro-mechanical system technology sheet electron beam dispersion characteristic coupling impedance 强激光与粒子束
2016, 28(9): 093005
对圆柱形复合腔结构微机械谐振元件进行了设计研究,提出了一种基于柱形腔结构的微机械复合谐振元件的设计方法,并对其结构及特性进行了研究.建立了复合腔结构的电磁场数学方程,腔体基于体微机械微细加工技术实现工艺设计,最后对该元件进行了仿真分析.TM010模式下,谐振腔谐振频率为24.313 299 GHz,Q值为3 529.707 890,考虑微带耦合时仿真出复合谐振元件的最佳谐振频率为24.75 GHz.仿真实验结果和理论值的平均误差不到1%,两者吻合得很好,说明了该设计的可行性.进一步改变结构参数,可获取不同谐振频率的?骷?且可在腔体中填充高介电常数介质来减小器件的谐振频率,克服了以往使用腔体结构在低频段时体积过大等问题.
微机械谐振器 腔结构 微细加工技术 微机械设计
上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室, 上海 200030
设计了一种新工艺――利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器。首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具,再利用硅模具复制得到微谐振腔。组合刻蚀工艺是采用深层反应离子刻蚀(deep-RIE)再结合EPW湿法刻蚀(一种各向异性刻蚀技术)。由于EPW湿法刻蚀对〈110〉面刻蚀速率较慢,可制作出具有光学镜面的侧壁〈110〉的硅模具,利用此模具可复制出正方形固态染料微谐振腔。以激光染料若丹明6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)为工作物质,在调Q Nd∶YAG自倍频激光532 nm抽运下,得到600 nm波长的激光输出。这种谐振腔可应用在染料激光器和滤波器中,对其原理、设计、制作工艺和性能都作了介绍。
激光技术 硅模具 微细加工技术 微谐振腔滤波器
