鲁东大学物理与电子工程学院,山东,烟台,264025
本文分析了常见的MEMS天线及其应用,包括多对称锥形弯曲缝隙微带天线、用于WIJAN中的微尺度宽频天线、开关式微机械毫米波天线、微机械自适应贴片天线等,对这些天线的结构原理、制造方法及其性能做了分析.这些天线设计简单、可用CMOS工艺制造、利于集成,兼有宽频、高辐射效率、小尺度等优点.但相对普通天线而言,这些制造工艺明显复杂、尺度更微小,增加了实现难度,要实现MEMS天线批量应用,还需要在基础理论及其微细工艺进行研究.最后,对MEMS天线在无线通信系统中的应用作出展望.
无线通信 天线 微细工艺 MEKS
