中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
设计了一套用于控制薄镜面主镜面形的力促动器, 并进行了实验测试。分析了常用的可以实现高精度、高稳定性的力促动器结构形式; 结合实际情况和目前薄镜面主动光学实验系统的要求, 设计了由步进电机驱动谐波减速器、精密丝杠传动, S型Loadcell反馈输出力变化的力促动器结构。最后, 通过开环和闭环实验对结构进行了测试。实验结果表明, 该力促动器行程为0～10 mm, 输出力为-100 ～100 N, 精度优于0.05 N, 满足大行程、高精度微量输出和高稳定性要求, 可以应用于主动光学支撑系统, 同时也适用于其他精密调整结构。
望远镜 主动光学 力促动器 微量输出 telescope active optics force actuator tiny output
