1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
2 中国石油大学(华东)物理科学与技术学院,山东 东营 257061
部分端面抽运的板条激光器是一种新型固体激光器,配合混合腔可以实现在大功率下保持高光束质量的激光振荡输出。谐振腔的腔镜倾斜是影响激光器输出特性的重要因素,快速傅里叶方法是一种快捷有效的计算方法,利用此方法模拟了腔镜倾斜对近场相位分布和远场光强分布的影响,并分析了光束质量的变化。理论分析表明,腔镜的小角度倾斜对近场相位影响较大,但对远场光强空间分布影响不大；随着倾斜角度不断增大,远场发散角和光束腰宽度也增大,光束质量虽然存在恶化的趋势,但光束质量因子M2值仍然较小,离轴非稳腔仍能保持高光束质量的输出。
激光技术 腔镜倾斜 快速傅里叶算法 离轴混合腔
为快速、准确地获得厚层光刻胶内部衍射光场的分布,利用角谱理论的思想,考虑入射光通过掩模后在光刻胶面的反射、透射和光刻胶曝光过程中其折射率及吸收系数在深度方向上的变化,建立了衍射光场在厚层光刻胶中传输的理论模型。为减小计算量,对快速傅里叶算法进行了改进。该方法数值计算速度快,计算结果准确,并适用于光在折射率渐变的其它介质中的传播。最后,对厚层光刻胶中光场分布进行了数值模拟;计算模拟表明,对于厚层光刻胶,其表面的反射、透射和折射率及吸收系数在深度方向变化对衍射光场分布有明显的影响。
物理光学 光刻 角谱理论 传递函数 厚层光刻胶 快速傅里叶算法
