引入邦定(Bonding)技术在加固液晶显示器方面的应用, 通过详细的试验数据对比, 验证加固技术为产品设计带来的全面提高。该技术的应用可以为军用加固显示领域的复杂问题提供更好的解决方案, 并且成本相对较低, 适合军队定制。
邦定技术 加固液晶显示器 抗恶劣环境 Bonding rugged LCD anti-adverse environment
1 厦门大学 物理与机电工程学院 机电工程系，福建 厦门361005
2 厦门大学 萨本栋微纳米技术研究院 微机电中心，福建 厦门361005
3 厦门大学 材料学院 材料科学与工程系，福建 厦门361005
为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响，提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中，从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介绍了此种压力传感器的工作原理，使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况。最后，利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为1.5 mm×1.5 mm×500 μm的压阻式压力传感器。用压力检测平台对该压力传感器进行了测试，结果表明，在25~125℃，其线性度小于2.73%，灵敏度约为20 mV/V-MPa，满足现代工业使用要求。
微机电系统 压阻式压力传感器 恶劣环境 可靠性 Micro-electro-mechanical System (MEMS) piezoresistive pressure sensor harsh environment reliability
概述了厢式车的发展情况，从汽车底盘的选择、底盘与车厢的连接形式、车厢形式、车厢及整车尺寸、电磁屏蔽、防冲击抗穿透能力、在放射性尘埃及有害气体环境中的生存能力等几个方面详细论述了抗恶劣环境厢式车的结构设计分析，提出了在恶劣环境下使用的厢式车结构设计中应当注意的问题，为类似设计提供参考.
恶劣环境 厢式车 结构设计 壁板制作 harsh environment van carriage construction design wainscot manufacture
西安交通大学 机械工程学院 机械制造系统工程国家重点实验室,陕西 西安 710049
为了解决如高温200℃等恶劣环境下的压力测量问题,基于微机电系统(MEMS)和高能氧离子注入(SIMOX)技术,研制了一种量程为0～120kPa的压阻式压力传感器。该传感器芯片由硅基底、薄层二氧化硅、惠斯登电桥结构的硼离子注入层、氮化硅应力匹配层、钛-铂-金梁式引线层和由湿法刻蚀形成的空腔组成。在氧剂量1.4×1018/cm2和注入能量200keV条件下,由高能氧离子注入技术形成厚度为367nm的埋层二氧化硅层,从而将上部测量电路层和硅基底隔离开,解决了漏电流问题,使得传感器芯片可以在高温200 ℃以上的环境下使用。为了提高传感器在宽温度范围内的稳定性,对温度补偿工艺进行了研究,补偿后的传感器灵敏度温度系数和零位温度系数很容易控制在1×10-4/℃·FS。实验标定结果表明:在200 ℃下,研发的耐高温压力传感器具有很好的工作性能,其线性度误差达0.12%FS、重复性误差为0.1%FS、迟滞误差为0.12%FS,精度达0.197%FS,满足油井、风洞、汽车和石化工业等现代工业的应用需求。
压力传感器 微机电系统 氧离子注入 恶劣环境 高温 pressure sensor MEMS SIMOX harsh environment high temperature
中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068
针对强震动、强冲击等恶劣环境的要求,应用FLASH固态存储器,开发了一种基于单片机控制的接口简单、重量轻、体积小的大容量数据存储系统.在机载CCD相机的高速图像数据存储设计中,得到了很好的应用.
恶劣环境 固态存储 IDE接口
