1 军械工程学院 电子与光学工程系, 石家庄 050003
2 中国科学院 重庆绿色智能技术研究院, 微纳制造与系统集成中心, 重庆 401122
3 中国华阴兵器试验中心, 陕西 华阴 714200
为了实现高均匀性的半导体激光器泵浦光源，研究了成像型光束积分器中微透镜的变化对泵浦光均匀性的影响。详细讨论了微透镜数值孔径与入射光束的角度匹配的问题。推导了高斯光束经成像型光束积分器的光场分布模型，分析了微透镜的边缘衍射对光斑均匀性的影响，明确了微透镜孔径大小的取值范围，并利用ZEMAX进行了系统仿真及实验验证。结果表明，经优化后的成像型光束积分器实现了不均匀性为811%的矩形光斑。
半导体激光器 光束整形 边缘衍射 微透镜阵列 成像型光束积分器 semiconductor laser beam shaping edge diffraction microlens array imaging beam integrator 强激光与粒子束
2013, 25(10): 2556
