1 四川大学 电子信息学院, 四川 成都610064
2 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
为了分析抛光粉粒径对材料去除效果的影响, 选用不同的平均粒径以及不同比例混合氧化铈抛光粉分别对K9玻璃进行了抛光试验。对抛光后的工件表面粗糙度及去除量进行了定量研究。结果表明, 在试验条件相同的情况下, 不同平均粒径的抛光粉, 粒径越小, 抛光后的元件表面粗糙度越好。从使用不同比例的混合抛光粉试验中可以看出, 粒度的均匀性是影响工件表面粗糙度的重要因素。结合抛光粉粒度分布图和试验结果可以看出, 抛光粉粒子的分布范围越小, 以及各粒径大小分布在峰值附近的粒子所占体积百分比越接近, 加工后的工件表面粗糙度越小。
浴法抛光 抛光粉粒径 抛光粉均匀性 表面粗糙度 去除速率 bowl-polishing slurry particle size uniformity of slurry particle surface roughness removal rate
