在探测海面大气成分时, 由于海面的反射率较低, 通过观测高亮度的海洋耀斑可提高入瞳辐射能量, 从而获得高信噪比的可见光-短波红外大气观测数据。海洋耀斑本质上是太阳的像, 相对卫星的张角较小, 因此需要卫星通过二维跟踪机构实现跟踪观测。研究了一种考虑地球椭率的海洋耀斑二维跟踪计算方法, 分析了地球椭率以及太阳对地球的张角对计算误差的影响, 给出了一年内的误差变化情况, 并将其与卫星工具包(Satellite Tool Kit, STK)输出的结果进行了对比。

光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一，两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对光束对准过程中光束调整的两个运动维度之间存在相互耦合的情况，推导了存在耦合时对准算法的收敛条件，并分析了光路中反射镜与解耦平面之间存在的装调误差对对准性能的影响。分析得出，装调误差降低了光束对准系统性能，甚至导致对准算法发散，通过调节光路中反射镜M₂和解耦平面的距离L₂与反射镜M₁和解耦平面的距离L₁的比值L₂/L₁可以优化系统的收敛性能。实验结果表明，当L₂/L₁较大时对准系统调节性能较差，收敛速率较低；当L₂/L₁较小时光束对准系统可以快速地收敛到目标位置，有效地对光束进行对准调节。推导证明与模拟分析可为光束对准系统以及整个曝光光路的设计提供理论指导。