1 中国科学院光电研究院, 北京 100094
2 中国科学院大学, 北京 100049
电极系统是ArF准分子激光光源的核心部件。首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计，得到合适的放电区尺寸，提供了电极和预电离电极电压的加载方式，从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部分组成的电极系统简化模型。然后基于该电极系统简化模型，在不同电压加载条件下进行了电场仿真。仿真结果表明，放电区域电场分布均匀对称，电极系统设计较为合理。
激光器 ArF准分子激光器 电极系统 电场仿真 放电区域 加载电压 激光与光电子学进展
2014, 51(1): 011402
