作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
研究了太赫兹散射式扫描近场光学显微镜(Terahertz scattering-type scanning near-field optical microscopy,THz s-SNOM)对亚表面金属微纳结构的显微成像检测。首次采用自主搭建的THz s-SNOM系统对表面覆盖了六方氮化硼薄膜的金微米线进行太赫兹近场显微测量,获得了具有纳米量级空间分辨率和较高对比度的近场显微图。结合全波数值模拟,分析了THz s-SNOM探测亚表面金属微纳结构的空间分辨率、近场散射信号强度和成像对比度。研究表明,THz s-SNOM具有优良的亚表面显微成像检测能力,可应用于微纳电子器件的亚表面结构表征和缺陷检测。
散射式扫描近场光学显微镜 亚表面检测 太赫兹成像 scattering-type scanning near-field optical microscopy subsurface detection Terahertz imaging 
光学仪器
2023, 45(4): 9
孙凤升 1,3,4郑泽波 1黄悟朝 1许宁生 1,2[ ... ]邓少芝 1,**
作者单位
摘要
1 中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广东省显示材料与技术重点实验室,中山大学电子与信息工程学院,广东 广州 510275
2 复旦大学芯片与系统研究院,上海 200433
3 广东大湾区空天信息研究院,广东 广州 510700
4 深圳京鲁计算科学应用研究院,广东 深圳 518131
在中红外至太赫兹的电磁场长波谱段,二维范德瓦耳斯晶体石墨烯和α-MoO3能够分别支持等离极化激元和双曲声子极化激元,实现对长波电磁场的纳米尺度聚焦和调控。不同类型极化激元之间的杂化可以进一步丰富极化激元物理特性,为纳米尺度下的电磁场调控带来更多维度。为此开展了α-MoO3薄片和单层石墨烯异质叠层结构声子极化激元-等离极化激元杂化研究。在理论上通过求解二维光波导麦克斯韦波动方程,分析了α-MoO3/石墨烯异质叠层结构中声子极化激元-等离极化激元杂化激元波导模式的传播特性,计算了波导模式的色散关系,揭示了α-MoO3/石墨烯异质叠层结构特有的电磁场传输机制。在实验上通过干法转移制备了α-MoO3/单层石墨烯异质叠层结构,并采用散射式扫描近场光学显微镜对该异质结构的杂化极化激元特性进行了三维空间纳米光学成像表征,验证了理论结果。研究结果为计算范德瓦耳斯二维晶体叠层结构的杂化极化激元特性提供了定量模型,为研究二维晶体中不同类型的极化激元之间的相互作用及其机制提供了理论和实验参考。
材料 声子极化激元 等离极化激元 杂化极化激元 二维范德瓦耳斯晶体 异质叠层结构 散射式扫描近场光学显微镜 
中国激光
2023, 50(1): 0113013
陈楠 1,2王玥 1,*刘涛 1,2,*夏洋 1,2,3,4
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所,北京 100029
2 中国科学院大学,北京,100049
3 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心,北京 100029
4 集成电路测试技术北京市重点实验室,北京 100029
基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试。结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力。
散射式扫描近场光学显微镜 扫描探针技术 近场光学 衍射极限 超分辨 Scattering-type scanning near field optical microscopy Scanning probe microscope Near-field optics Diffraction limit Super-resolution 
光子学报
2021, 50(11): 1111001
作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
基于散射式近场探测原理,设计并搭建了散射式太赫兹扫描近场光学显微系统(THz s-SNOM),实现了纳米量级空间分辨率的太赫兹近场显微成像测量。该系统以输出频率范围为0.1~0.3 THz的太赫兹倍频模块为发射源,通过纳米探针的针尖产生纳米光源与样品相互作用,并将样品表面的倏逝波转化为可在远场测量的辐射波。通过探针逐点扫描样品表面,同时获得了样品表面的形貌图和太赫兹近场显微图。该系统的显微分辨率取决于探针针尖的曲率半径,而与太赫兹波的波长无关。使用该系统测量了金薄膜/硅衬底样品和石墨烯样品的近场显微图,结果表明,近场显微的空间分辨率优于60 nm,波长与空间分辨率之比高达λ/26 000。
太赫兹 散射式扫描近场光学显微镜 外差探测 terahertz scattering-type scanning near-field optical microscope heterodyne detection 
光学仪器
2020, 42(2): 64
成龙 1,2,*王冬利 1,2戴思远 3严跃冬 1,2[ ... ]曾长淦 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学技术大学 合肥微尺度物质科学国家实验室, 安徽 合肥 230026
2 中国科学技术大学物理系 中科院强耦合量子材料物理重点实验室, 安徽 合肥 230026
3 美国加州大学圣迭戈分校物理系, 美国 加州 拉荷亚 92093
铝酸镧/钛酸锶(LaALO3/SrTiO3)异质界面被发现具有二维导电性并呈现出其他一些有趣的呈展现象.而此前, LaAlO3/SrTiO3异质界面的导电性主要都是通过电学方法进行表征.这里作者首次提出利用散射式扫描近场光学显微镜 (s-SNOM) 对LaAlO3/SrTiO3界面的导电性进行空间成像, 这为研究过渡金属氧化物异质界面体系的物理现象提供了一个新的手段.
过渡金属氧化物异质界面 铝酸镧/钛酸锶 界面导电性 散射式扫描近场光学显微镜 transition metal oxide heterointerface LaAlO3/SrTiO3 interfacial conductivity s-SNOM 
红外与毫米波学报
2017, 36(5): 534

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