1 中国科学院上海微系统与信息技术研究所太赫兹固态技术重点实验室, 上海 200050
2 上海科技大学信息科学与技术学院, 上海 201210
以太赫兹(THz)量子级联激光器为光源、低温热辐射计为信号接收端, 采用可旋转和平移的二维扫描平台搭建反射式快速扫描成像系统。通过计算机控制扫描平台进行连续的旋转与平移运动, 实时获取探测信号强度和样品位置信息, 成功实现对直径为80 mm圆形区域的快速扫描成像, 扫描时间为5 s, 图像的平均空间分辨率约为1 mm, 系统成像时间大幅缩短。此外, 成像装置中基于THz分束片的共光路设计, 可有效减少系统光路元件, 进一步缩小成像系统的体积。
成像系统 太赫兹 反射成像 太赫兹量子级联激光器 旋转平移二维扫描 共光路
