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测量与计量
新型集成光杨氏干涉计传感器的研制
赵书凯 *陈方 祁志美 
作者单位
摘要
中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室,北京 100190
中国科学院“计划”择优支持项目和国家973计划 (2009CB320300)资助课题。
集成光学 杨氏干涉仪 复合光波导 传感器 
PDF全文 Full Text
中国激光
2010, 37(3): 819
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