1 中国科学院研究生院，北京100039；中国科学院光电技术研究所，四川成都610209
2 中国科学院光电技术研究所，四川成都610209
针对一般标量近似算法精度不高的问题，提出采用S矩阵的严格耦合波的方法计算光栅衍射效率。通过建立完整的闪耀光栅理论模型，对各分层电磁场进行傅里叶级数展开，采用散射矩阵方法求解各谐波系数，完成衍射效率计算。该方法已应用到红外光栅TE和TM 2种模式衍射效率的计算。分析了散射矩阵解决数值运算不稳定的原因，通过与标量近似计算方法进行比较，说明红外光栅衍射偏振特性。
散射矩阵 严格耦合波法 标量算法 偏振特性 scattering matrix rigorous coupled-wave method scalar algorithm polarization characteristic
